Une offre de stage de Master 2 de janvier à septembre 2020 avec poursuite d’une thèse au Département Sources et Sondes ponctuelles

Titre : Développement d’une nouvelle source d’ions pour répondre aux besoins futurs des industriels du semi-conducteur

 Description du sujet :

Pour répondre aux grands enjeux de demain, Orsay Physics, entreprise spécialisée dans la technologie de pointe des faisceaux d’ions focalisés (FIB) cherche à optimiser la résolution de ses colonnes ioniques. Cela devrait permettre notamment l’analyse de défaillance des technologies 7, 5 voir 3nm pour les acteurs du semi-conducteur.

Pour augmenter la résolution des colonnes ioniques, il est essentiel de travailler sur la brillance de la source. Dans cet objectif, à travers une collaboration CINaM/Orsay Physics, nous voulons réaliser une nouvelle source d’ions qui utilise une structure coaxiale à basse température pour produire des ions lourds issus de gaz nobles. Une nouvelle colonne FIB sera spécialement conçue à cet effet.  Le stagiaire, puis l’étudiant en thèse, contribuera à la conception, confection puis aux tests et à la caractérisation de cette nouvelle source, comme de la FIB dédiée. Il étudiera et testera les modalités d’utilisation de cette solution high tech pour de nouvelles applications adressables.  Il réalisera ses travaux au sein du CINaM, comme d’Orsay Physics.

Pour plus d’informations :

Evelyne Salançon                                       

Aix-Marseille Université/CNRS,

CINaM UMR 7325, 13288 MARSEILLE

Email : salancon@cinam.univ-mrs.fr

06 60 36 28 05

Arnaud Houël

ORSAY PHYSICS

ZAC St Charles, 3ème avenue, n° 95, 13710 FUVEAU

Email : Arnaud.houel@orsayphysics.com

06 10 89 32 63