{"id":10697,"date":"2022-09-16T14:27:20","date_gmt":"2022-09-16T12:27:20","guid":{"rendered":"http:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/?p=10697"},"modified":"2022-09-16T15:13:09","modified_gmt":"2022-09-16T13:13:09","slug":"planete-nouvel-equipement-pour-la-lithographie-optique-sans-masque","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/2022\/09\/16\/planete-nouvel-equipement-pour-la-lithographie-optique-sans-masque\/","title":{"rendered":"Plan\u00e8te, Nouvel \u00e9quipement pour la lithographie optique sans masque"},"content":{"rendered":"<p>Aix-Marseille Universit\u00e9 a r\u00e9cemment cr\u00e9\u00e9 l\u2019institut <a href=\"https:\/\/www.univ-amu.fr\/fr\/amutech\">AMUtech<\/a> d\u00e9di\u00e9 aux mat\u00e9riaux avanc\u00e9s et nanotechnologies.<\/p>\n<p>L\u2019acquisition d\u2019une lithographie sans masque a \u00e9t\u00e9 r\u00e9alis\u00e9e sur les fonds propres d\u2019AMUtech et cofinanc\u00e9e par le CINaM.<\/p>\n<p>Le syst\u00e8me de lithographie sans masque permet la r\u00e9alisation de motifs de formes libres sur plusieurs types de substrat et r\u00e9sines photosensibles par \u00e9criture directe. Grace \u00e0 sa matrice de micromiroirs et \u00e0 son syst\u00e8me optique fonctionnant dans l\u2019ultraviolet, l\u2019\u00e9quipement permet une r\u00e9alisation rapide \u00e0 l\u2019\u00e9chelle micronique ainsi que l\u2019alignement pr\u00e9cis de plusieurs niveaux de motifs.<\/p>\n<p>Cet \u00e9quipement renforce et compl\u00e8te les moyens en micro et nanofabrication sur la plateforme technologique de nanofabrication PLANETE tout en \u00e9largissant l\u2019offre d\u2019enseignement (travaux pratiques en nanotechnologies). Il est performant tant pour la recherche que pour l\u2019enseignement.<\/p>\n<p>L\u2019\u00e9quipement est install\u00e9 dans la salle blanche de la plateforme <a href=\"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/team\/planete\/\">PLANETE<\/a> \u00a0sur le Campus de Luminy \u00e0 Marseille.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>La plateforme de micro et nanofabrication PLANETE a re\u00e7u un nouvel \u00e9quipement de lithographie UV sans masque<\/p>\n","protected":false},"author":14,"featured_media":10706,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":[],"categories":[1],"tags":[],"aioseo_notices":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/10697"}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/wp-json\/wp\/v2\/users\/14"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=10697"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/10697\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":10708,"href":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/10697\/revisions\/10708"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/wp-json\/wp\/v2\/media\/10706"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=10697"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=10697"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.cinam.univ-mrs.fr\/cinam\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=10697"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}