JEOL JSM-6340F

Performances

Resolution

  • 1.2 nm à 15 KV garanti
  • 2.5 nm à 1KV garanti

Magnification

  • 25x à 2000x in Low Mag Mode
  • 500x à 650000x in Hight resolution mode

Probe current

  • 10-12 à 10-10 A

Emission

  • Type : FEG (field emission gun)
  • Cathode : Tungsten
  • Accelerating voltage : 0.5 à 30 KV

JEOL JSM-6340F

Detectors

  • Secondary electrons : 2 detector
  • Backscattered electrons : 1 detector
  • X ray : 1 detector

JEOL JSM-6340F 1