JEOL JSM-7900F

• Type : Émission de champ à effet Schottky
• Cathode : ZrO/W
• Tension d’accélération :
  • de 0.5 à 30 KV (SEM)
  • à partir de 10V (GB/GBSH)

• Électrons secondaires : 1 détecteur dans la chambre (LED), 2 détecteurs dans la colonne (USD + UED)
• Électrons rétrodiffusés : 1 détecteur solide (BED) et 1 détecteur filtrable (UED)
• Mode Low Vacuum : pression variable de 10 à 300Pa avec  2 détecteurs dédiés Électrons secondaires + Électrons rétrodiffusés
• Détecteur STEM (DEBEN) multi-canaux annulaire (BF, HAADF et DF)
• Photons X : 1 détecteur XFlash 6|60 (Brüker) utilisable en Low Vacuum + 1 détecteur annulaire Flat-Quad (Brüker)

Le logiciel Mex (Alicona) permet de calculer les angles d'inclinaison adéquats pour l'analyse de rugosité d'un échantillon selon sa nature. Puis il permet de réaliser des analyses de rugosité, de modélisation 3D, de mesurer des différences de hauteur, etc.