Planète, Nouvel équipement pour la lithographie optique sans masque

Aix-Marseille Université a récemment créé l’institut AMUtech dédié aux matériaux avancés et nanotechnologies.

L’acquisition d’une lithographie sans masque a été réalisée sur les fonds propres d’AMUtech et cofinancée par le CINaM.

Le système de lithographie sans masque permet la réalisation de motifs de formes libres sur plusieurs types de substrat et résines photosensibles par écriture directe. Grace à sa matrice de micromiroirs et à son système optique fonctionnant dans l’ultraviolet, l’équipement permet une réalisation rapide à l’échelle micronique ainsi que l’alignement précis de plusieurs niveaux de motifs.

Cet équipement renforce et complète les moyens en micro et nanofabrication sur la plateforme technologique de nanofabrication PLANETE tout en élargissant l’offre d’enseignement (travaux pratiques en nanotechnologies). Il est performant tant pour la recherche que pour l’enseignement.

L’équipement est installé dans la salle blanche de la plateforme PLANETE  sur le Campus de Luminy à Marseille.