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Nanofabrication

Dépôt, lithographie et gravure assistés par faisceau de particules chargées

Exemples de réalisations

Structures plasmoniques, collaboration LP3 – CINaM

Réseaux de nanostructures d’or obtenus par litho électronique

Dépôt des nano-objets

Réseau de pointes de tungstène et Nanofil de platine connecté

Dépôt local assisté par faisceau d'ions focalisés (FIBID) et par faisceau d'électrons (EBID)

Dépôt de nano-plots de tungstène (EBID)

Stations de Nanofabrication par faisceaux d'ions et d’électrons focalisés

Système PIONEER (RAITH GMBH)

  • Source FEG (cathode chaude à émission de champ)
  • Colonne électronique (100eV à 30 keV)
  • Taille de sonde <2nm
  • Détecteurs d’électrons rétrodiffusés et secondaires in-lens et out-lens
  • Platine interférométrique 5cmx5cm (précision <20nm)
  • Module tilt 0 à 90°
  • Editeur GDSII

Système d’injection de gaz (Orsay Physics)

6 lignes d’injection

  • Platine
  • Tungstène
  • Oxyde de silicium
  • Fluorure de xenon
  • Vapeur d’eau
  • Purge

Equipement FIB-SEM (Helios 5 UC ThermoFisher)

Colonne électronique Elstar avec la technologie UC+

Colonne FIB faisceau d'ions Ga+ focalisé Tomahawk HT avec un Fast Beam Blanker

3 systèmes d’injection de gaz (Pt, W, C)

NanoManipulateur EasyLift EX

EDS Oxford Ultim Max 100mm²

Système de lithographie RAITH Elphy MultiBeam

 

Le système Helios 5 UC a été acqui et installé en 2025. Il a été cofinancé par l’État et les collectivités territoriales (Région Sud et Ville de Marseille) dans le cadre du Contrat de Plan État-Région (CPER 2021-2027) et du Programme et Équipement Prioritaire de Recherche (PEPR électronique).

Le système PIONEER a été obtenu en 2012 dans le cadre d’un projet FEDER avec un soutien de : Région PACA, Conseil Général des Bouches du Rhône, Aix-Marseille Université, C’Nano PACA.

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