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Plateforme de nano et micro-fabrication 'PLANETE'
Pour répondre à la demande en nanolithographie, nanostructuration et en connectique des nano-objets, le Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille (CINaM), laboratoire très actif en nanosciences, a conçu la plate-forme technologique Planète.
Grâce à une forte implication du CNRS ainsi que de l’université Aix-Marseille, et d’un soutien conséquent des collectivités (ville de Marseille, Conseil Général des Bouches-du-Rhône, Conseil de la Région Sud Provence-Alpes-Côte d’Azur) la plate-forme Planète voit le jour en 2006.
Cette plate-forme, dotée d’une salle blanche de 250 m² et réunissant plusieurs équipements technologiques, est gérée par une équipe d’ingénieurs qui en assurent la veille.
Dès 2009, la plate-forme PLANETE intègre la CT-PACA, centrale technologique régionale de proximité, labélisée par le Ministère de lʼEnseignement supérieur, de la Recherche et de lʼInnovation.
La plate-forme PLANETE est ouverte à la communauté régionale de recherche ainsi qu’aux entreprises innovantes, réalisant des projets de recherche et de développement. Les locaux de la salle blanche et l’ensemble des équipements sont mis à leur disposition avec, selon les besoins, une assistance technique du personnel de la plate-forme.
Parmi les utilisateurs récurrents se trouvent des équipes du CINaM et d’autres laboratoires marseillais (par exemple, LAI, IM2NP, IBDM, CIML, LP3, IUSTI, PIIM, Institut FRESNEL). Le personnel de la plate-forme participe également aux collaborations scientifiques nationales (ESPCI, UPMC, UTT) et internationales (Espagne, Allemagne, Lettonie, Corée du Sud).
2020
Fabrication of sharp silicon arrays to wound Caenorhabditis elegans
Jérôme Belougne, Igor Ozerov, Céline Caillard, Bedu Frédéric, Jonathan Ewbank
Scientific Reports 10:3581 (2020)10.1038/s41598-020-60333-7
Optical spin-dependent beam separation in cyclic group symmetric metasurface
Yeon Lee, Igor Ozerov, Frédéric Bedu, Ji Kim, Frédéric Fages, Jeong Wu
Nanophotonics (2020)10.1515/nanoph-2020-0160
2019
Growth and orientation relationships of Ni and Cu films annealed on slightly miscut (1-102) r-sapphire substrates
Dominique Chatain, Blandine Courtois, Igor Ozerov, Nathalie Bozzolo, Madeleine Kelly, Gregory Rohrer, Paul Wynblatt
Journal of Crystal Growth 508:24-33 (2019)10.1016/j.jcrysgro.2018.11.024
Enhanced Four-Wave Mixing in Doubly Resonant Si Nanoresonators
Rémi Colom, Lei Xu, Loris Marini, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Thomas Begou, Julien Lumeau, Andrey Miroshnichenko, Dragomir Neshev, Boris Kuhlmey, Stefano Palomba, Nicolas Bonod
ACS photonics 6:1295-1301 (2019)10.1021/acsphotonics.9b00442
2018
Ultra-narrow surface lattice resonances in plasmonic metamaterial arrays for biosensing applications
Artem Danilov, Gleb Tselikov, Fan Wu, Vasyl Kravets, Igor Ozerov, F. Bedu, Alexander N. Grigorenko, Andrei V. Kabashin
Biosensors and Bioelectronics 104:102-112 (2018)10.1016/j.bios.2017.12.001
Water adsorption by a sensitive calibrated gold plasmonic nanosensor
Benjamin Demirdjian, Frédéric Bedu, Alain Ranguis, Igor Ozerov, Claude Henry
Langmuir 34:5381-5385 (2018)10.1021/acs.langmuir.8b00040
Strong Nonlinear Optical Response in the Visible Spectral Range with Epsilon-Near-Zero Organic Thin Films
Yeon Ui Lee, Eleonora Garoni, Hanayo Kita, Kenji Kamada, Byung Hoon Woo, Young Chul Jun, Sang Min Chae, Hyo Jung Kim, Kwang Jin Lee, Seokhyun Yoon, Eunyoung Choi, Fabrice Mathevet, Igor Ozerov, Jean Charles Ribierre, Jeong Weon Wu, Anthony d'Aléo
Advanced Optical Materials 6:1701400 (2018)10.1002/adom.201701400
Live nanoscopic to mesoscopic topography reconstruction with an optical microscope for chemical and biological samples
Olivier Theodoly, Nicolas Garcia-Seyda, Frédéric Bedu, Xuan Luo, Sylvain Gabriele, Tam Mignot, Joanna Giermanska, Jean-Paul Chapel, Mélinda Métivier, Marie-Pierre Valignat
PLoS ONE 13:e0207881 (2018)10.1371/journal.pone.0207881
2017
Ligand Nano-cluster Arrays in a Supported Lipid Bilayer
Emmanuelle Benard, Fuwei Pi, Igor Ozerov, Anne Charrier, Kheya Sengupta
Journal of visualized experiments : JoVE 122:e55060 (2017)10.3791/55060
High Aspect Ratio Sub-Micrometer Channels Using Wet Etching: Application to the Dynamics of Red Blood Cell Transiting through Biomimetic Splenic Slits
Priya Gambhire, Scott Atwell, Cécile Iss, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Catherine Badens, Emmanuèle Helfer, Annie Viallat, Anne Charrier
Small 13:1700967 (2017)10.1002/smll.201700967
2016
Enhancement and Inhibition of Spontaneous Photon Emission by Resonant Silicon Nanoantennas
Dorian Bouchet, Mathieu Mivelle, Julien Proust, Bruno Gallas, Igor Ozerov, Maria F. Garcia-Parajo, Angelo Gulinatti, Ivan Rech, Yannick de Wilde, Nicolas Bonod, Valentina Krachmalnicoff, Sébastien Bidault
Physical Review Applied 6:064016 (2016)10.1103/PhysRevApplied.6.064016
Optimized 2D array of thin silicon pillars for efficient antireflective coatings in the visible spectrum
Julien Proust, Anne-Laure Fehrembach, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Nicolas Bonod
Scientific Reports 6:24947 (2016)10.1038/srep24947
All-Dielectric Colored Metasurfaces with Silicon Mie Resonators
Julien Proust, Frédéric Bedu, Bruno Gallas, Igor Ozerov, Nicolas Bonod
ACS Nano 10:7761-7767 (2016)10.1021/acsnano.6b03207
All-Dielectric Silicon Nanogap Antennas To Enhance the Fluorescence of Single Molecules
Raju Regmi, Johann Berthelot, Pamina M. Winkler, Mathieu Mivelle, Julien Proust, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Thomas Begou, Julien Lumeau, Hervé Rigneault, María F. García-Parajó, Sébastien Bidault, Jérôme Wenger, Nicolas Bonod
Nano Letters 16:5143-5151 (2016)10.1021/acs.nanolett.6b02076
La salle est dotée de plusieurs procédés technologiques et équipements adaptés aux projets scientifiques menés au sein du CINaM ainsi que dans les différents laboratoires de la région.
- Dépôt, lithographie et gravure assistés par faisceau de particules chargées.
- Lithographie optique et électronique
- Dépôt de métaux par évaporation
- Dépôt de SiO2 et Si3N4 ainsi que des métaux (2ème bâti) par pulvérisation
- Gravure de Si, SiO2 et Si3N4 par plasma (RIE fluorée)
- Gravure de métaux (Co, Fe, Ni, Ti, Al par plasma – ICP)
- Gravure chimique
-
Métrologie
- Microscopie optique et profilomètrie
- Mesures électriques
- Microsoudure
Ce parc d’équipements sera complété au fur et à mesure en fonction des besoins constatés dans la communauté : par exemple, un nouvel aligneur de masques pour la lithographie optique a été acquis en février 2019.
La plate-forme PLANETE est ouverte à la communauté régionale de recherche ainsi qu’aux entreprises innovantes, réalisant des projets de recherche et de développement. Les locaux de la salle blanche et l’ensemble des équipements sont mis à leur disposition avec, selon les besoins, une assistance technique du personnel de la plate-forme.
Les utilisateurs de la plateforme sont accueillis par une équipe technique (Igor Ozerov, Frédéric Bedu et Romain Jeannette).
Tous les utilisateurs s'engagent à respecter la charte d'utilisation de Planète.
Consultez la charte d'utilisation de Planète
Le tarif horaire d'utilisation des équipements de la salle blanche est de 64,887 €HT/heure pour le partenaires académiques (universitaires, unités CNRS et autres EPST).
Pour les industriels, les tarifs horaires d'utilisation des équipement de la salle blanche sont :
- 118 €HT/heure (en autonomie, sans assistance)
- 229 €HT/heure (avec assistance par équipe technique).
Consultez la grille de tarification
La direction du CINaM et l’ensemble du personnel de la plateforme technologique PLANETE se sont engagée dans la démarche qualité visant à renforcer la fiabilité des équipements de la plateforme et la pérennisation des procédés technologiques disponibles au sein de la plateforme.
Consultez la politique qualité de Planète
La plateforme Planète est membre du réseau « Plateformes Technologiques du Site d’Aix-Marseille » labellisé par les tutelles Aix−Marseille Université, le CNRS et l’INSERM.
Consultez la charte des plateformes technologiques d’Aix-Marseille
Depuis 2009, la plate-forme Planète constitue également l’une des trois composantes de la centrale technologique régionale de proximité CT-PACA, labélisée par le Ministère de lʼEnseignement supérieur, de la Recherche et de lʼInnovation. Les deux autres composantes de cette centrale sont CRHEATec sur le site de Sophia Antipolis, dépendant du CRHEA, et NanoTecMat sur le site de Marseille Saint Jérôme, dépendant de l’IM2NP.
Au niveau national, dans le cadre de RENATECH+, un rapprochement entre les centrales technologiques de proximité et les centrales du premier cercle s’est opéré. Dans le cas de Planète, le rapprochement s’est fait avec les centrales NanoLyon (INSA et École Centrale de Lyon) et la plate-forme technologique amont (PTA) à Grenoble.
En collaboration avec la plateforme NanoTecMat de l'IM2NP, Planète est parmi les lauréats de l’action structurante Potentialisation du développement des plateformes technologiques Aix-Marseille financée par A*Midex en 2019. Ce projet initie une démarche qualité au sein des deux plateformes et il est accompagné et soutenu par la Direction de l’Amélioration Continue (DAC) d’AMU.
Sofia Bekdouche, Ingénieure qualité en CDD A*Midex pour 1 an, partage son temps entre les deux plateformes.
Consultez la politique qualité de Planète