PLANETE

La salle est dotée de plusieurs procédés technologiques et équipements adaptés aux projets scientifiques menés au sein du CINaM ainsi que dans les différents laboratoires de la région.

• Nanofabrication

- Dépôt, lithographie et gravure assistés par faisceau de particules chargées.

• Lithographie

- Lithographie optique et électronique

• Dépôt

- Dépôt de métaux par évaporation
- Dépôt de SiO2 et Si3N4 ainsi que des métaux (2ème bâti) par pulvérisation

• Gravure

- Gravure de Si, SiO2 et Si3N4 par plasma (RIE fluorée)
- Gravure de métaux (Co, Fe, Ni, Ti, Al par plasma – ICP)
- Gravure chimique

• Métrologie

- Microscopie optique et profilomètrie
- Mesures électriques
- Microsoudure

Ce parc d’équipements sera complété au fur et à mesure en fonction des besoins constatés dans la communauté : par exemple, un nouvel aligneur de masques pour la lithographie optique a été acquis en février 2019.

La plate-forme PLANETE est ouverte à la communauté régionale de recherche ainsi qu’aux entreprises innovantes, réalisant des projets de recherche et de développement. Les locaux de la salle blanche et l’ensemble des équipements sont mis à leur disposition avec, selon les besoins, une assistance technique du personnel de la plate-forme.

Les utilisateurs de la plateforme sont accueillis par une équipe technique (Igor Ozerov, Frédéric Bedu et Romain Jeannette).

Tous les utilisateurs s'engagent à respecter la charte d'utilisation de Planète.

Consultez la charte d'utilisation de Planète

Le tarif horaire d'utilisation des équipements de la salle blanche est de 64,887 €HT/heure pour le partenaires académiques (universitaires, unités CNRS et autres EPST).

Pour les industriels, les tarifs horaires d'utilisation des équipement de la salle blanche sont :

• 118 €HT/heure (en autonomie, sans assistance)
• 229 €HT/heure (avec assistance par équipe technique).

Consultez la grille de tarification

La direction du CINaM et l’ensemble du personnel de la plateforme technologique PLANETE se sont engagée dans la démarche qualité visant à renforcer la fiabilité des équipements de la plateforme et la pérennisation des procédés technologiques disponibles au sein de la plateforme.

Consultez la politique qualité de Planète

La plateforme Planète est membre du réseau « Plateformes Technologiques du Site d’Aix-Marseille » labellisé par les tutelles Aix−Marseille Université, le CNRS et l’INSERM.

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Depuis 2009, la plate-forme Planète constitue également l’une des trois composantes de la centrale technologique régionale de proximité CT-PACA, labélisée par le Ministère de lʼEnseignement supérieur, de la Recherche et de lʼInnovation. Les deux autres composantes de cette centrale sont CRHEATec sur le site de Sophia Antipolis, dépendant du CRHEA, et NanoTecMat sur le site de Marseille Saint Jérôme, dépendant de l’IM2NP.

Au niveau national, dans le cadre de RENATECH+, un rapprochement entre les centrales technologiques de proximité et les centrales du premier cercle s’est opéré. Dans le cas de Planète, le rapprochement s’est fait avec les centrales NanoLyon (INSA et École Centrale de Lyon) et la plate-forme technologique amont (PTA) à Grenoble.

En collaboration avec la plateforme NanoTecMat de  l'IM2NP, Planète est parmi les lauréats de l’action structurante Potentialisation du développement des plateformes technologiques Aix-Marseille financée par A*Midex en 2019. Ce projet initie une démarche qualité au sein des deux plateformes et il est accompagné et soutenu par la Direction de l’Amélioration Continue (DAC) d’AMU.

Sofia Bekdouche, Ingénieure qualité en CDD A*Midex pour 1 an, partage son temps entre les deux plateformes.

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