6 ans ago
Plateforme de nano et micro-fabrication 'PLANETE'
Pour répondre à la demande en nanolithographie, nanostructuration et en connectique des nano-objets, le Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille (CINaM), laboratoire très actif en nanosciences, a conçu la plate-forme technologique Planète.
Grâce à une forte implication du CNRS ainsi que de l’université Aix-Marseille, et d’un soutien conséquent des collectivités (ville de Marseille, Conseil Général des Bouches-du-Rhône, Conseil de la Région Sud Provence-Alpes-Côte d’Azur) la plate-forme Planète voit le jour en 2006.
Cette plate-forme, dotée d’une salle blanche de 250 m² et réunissant plusieurs équipements technologiques, est gérée par une équipe d’ingénieurs qui en assurent la veille.
Dès 2009, la plate-forme PLANETE intègre la CT-PACA, centrale technologique régionale de proximité, labélisée par le Ministère de lʼEnseignement supérieur, de la Recherche et de lʼInnovation.
La plate-forme PLANETE est ouverte à la communauté régionale de recherche ainsi qu’aux entreprises innovantes, réalisant des projets de recherche et de développement. Les locaux de la salle blanche et l’ensemble des équipements sont mis à leur disposition avec, selon les besoins, une assistance technique du personnel de la plate-forme.
Parmi les utilisateurs récurrents se trouvent des équipes du CINaM et d’autres laboratoires marseillais (par exemple, LAI, IM2NP, IBDM, CIML, LP3, IUSTI, PIIM, Institut FRESNEL). Le personnel de la plate-forme participe également aux collaborations scientifiques nationales (ESPCI, UPMC, UTT) et internationales (Espagne, Allemagne, Lettonie, Corée du Sud).
2024
Rim nucleation and step-train orientation effects in SOI(111) dewetting
Stefano Curiotto, Pierre Müller, Fabien Cheynis, Igor Ozerov, Frédéric Leroy
Surfaces and Interfaces 45:103912 (2024)10.1016/j.surfin.2024.103912
Nanoplasmonic sensing to study CO and oxygen adsorption and CO oxidation on size-selected Pt10 clusters
Benjamin Demirdjian, Mykhailo Vaidulych, Igor Ozerov, F. Bedu, Stefan Vajda, Claude R Henry
Nanoscale 16:20968-20976 (2024)10.1039/D4NR02682A
Plasmonic sensing: FDTD calculations to interpret experimental LSPR water adsorption isotherms
Benjamin Demirdjian, Igor Ozerov, F. Bedu, Alain Ranguis, Claude R Henry
Chemical Physics Letters 837:141063 (2024)10.1016/j.cplett.2023.141063
Designer metasurfaces via nanocube assembly at the air-water interface
Beniamino Sciacca, Muhammad L. Fajri, Nicolas Kossowski, Ibtissem Bouanane, F. Bedu, Peeranuch Poungsripong, Renato Juliano-Martins, Clement Majorel, Olivier Margeat, Judikaël Le Rouzo, Patrice Genevet
ACS Nano 18 (2024)https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsnano.4c06022
2023
Design of infrared optical absorber using silver nanorings array made by a top-down process
Ibtissem Bouanane, F. Bedu, Igor Ozerov, Beniamino Sciacca, Lionel Santinacci, David Duché, Gérard Berginc, Ludovic Escoubas, Olivier Margeat, Judikaël Le Rouzo
Scientific Reports 13:7770 (2023)10.1038/s41598-023-34579-w
Electrical monitoring of organic crystal phase transition using MoS2 field effect transistor
Ilan Boulet, Simon Pascal, F. Bedu, Igor Ozerov, Alain Ranguis, Thomas Leoni, Conrad Becker, Laurence Masson, Aleksandar Matkovic, Christian Teichert, Olivier Siri, Claudio Attaccalite, Jean-Roch Huntzinger, Matthieu Paillet, Ahmed-Azmi Zahab, Romain Parret
Nanoscale Advances 5:1681-1690 (2023)10.1039/d2na00817c
Fluorescence engineering in metamaterial-assisted super-resolution localization microscope
Kyu Ri Choi, Shilong Li, Igor Ozerov, F. Bedu, Bin Chan Joo, Dong Hee Park, Jeong Weon Wu, Síle Nic Chormaic, Yeon Ui Lee
Nanophotonics 12:2491-2498 (2023)10.1515/nanoph-2022-0751
Uniform Huygens Metasurfaces with Postfabrication Phase Pattern Recording Functionality
Elena Mikheeva, Remi Colom, Patrice Genevet, Frederic Bedu, Igor Ozerov, Samira Khadir, Guillaume Baffou, Redha Abdeddaim, Stefan Enoch, Julien Lumeau
ACS photonics 10:1538-1546 (2023)10.1021/acsphotonics.3c00128
2022
Nonlinear Exciton‐Mie Coupling in Transition Metal Dichalcogenide Nanoresonators
Anna Popkova, Ilya Antropov, Gleb Tselikov, Georgy Ermolaev, Igor Ozerov, Roman Kirtaev, Sergey Novikov, Andrey Evlyukhin, Aleksey Arsenin, Vladimir Bessonov, Valentyn Volkov, Andrey Fedyanin
Laser and Photonics Reviews 2100604 (2022)10.1002/lpor.202100604
2021
CO and O2 Adsorption and CO Oxidation on Pt Nanoparticles by Indirect Nanoplasmonic Sensing
Benjamin Demirdjian, Igor Ozerov, Frédéric Bedu, Alain Ranguis, Claude R Henry
ACS Omega 6:13398-13405 (2021)10.1021/acsomega.1c01487
Ligand Nanocluster Array Enables Artificial-Intelligence-Based Detection of Hidden Features in T-Cell Architecture
Aya Nassereddine, Ahmed Abdelrahman, Emmanuelle Benard, F. Bedu, Igor Ozerov, Laurent Limozin, Kheya Sengupta
Nano Letters 21:5606-5613 (2021)10.1021/acs.nanolett.1c01073
2020
Fabrication of sharp silicon arrays to wound Caenorhabditis elegans
Jérôme Belougne, Igor Ozerov, Céline Caillard, Bedu Frédéric, Jonathan J. Ewbank
Scientific Reports 10:3581 (2020)10.1038/s41598-020-60333-7
Optical spin-dependent beam separation in cyclic group symmetric metasurface
Yeon Ui Lee, Igor Ozerov, Frédéric Bedu, Ji Su Kim, Frédéric Fages, Jeong Weon Wu
Nanophotonics 9:3459-3471 (2020)10.1515/nanoph-2020-0160
2019
Growth and orientation relationships of Ni and Cu films annealed on slightly miscut (1-102) r-sapphire substrates
Dominique Chatain, Blandine Courtois, Igor Ozerov, Nathalie Bozzolo, Madeleine Kelly, Gregory S Rohrer, Paul Wynblatt
Journal of Crystal Growth 508:24-33 (2019)10.1016/j.jcrysgro.2018.11.024
Enhanced Four-Wave Mixing in Doubly Resonant Si Nanoresonators
Rémi Colom, Lei Xu, Loris Marini, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Thomas Begou, Julien Lumeau, Andrey E. Miroshnichenko, Dragomir N. Neshev, Boris Kuhlmey, Stefano Palomba, Nicolas Bonod
ACS photonics 6:1295-1301 (2019)10.1021/acsphotonics.9b00442
2018
Ultra-narrow surface lattice resonances in plasmonic metamaterial arrays for biosensing applications
Artem Danilov, Gleb Tselikov, Fan Wu, Vasyl G. Kravets, Igor Ozerov, F. Bedu, Alexander N. Grigorenko, Andrei V. Kabashin
Biosensors and Bioelectronics 104:102-112 (2018)10.1016/j.bios.2017.12.001
Water adsorption by a sensitive calibrated gold plasmonic nanosensor
Benjamin Demirdjian, Frédéric Bedu, Alain Ranguis, Igor Ozerov, Claude Henry
Langmuir 34:5381-5385 (2018)10.1021/acs.langmuir.8b00040
Strong Nonlinear Optical Response in the Visible Spectral Range with Epsilon-Near-Zero Organic Thin Films
Yeon Ui Lee, Eleonora Garoni, Hanayo Kita, Kenji Kamada, Byung Hoon Woo, Young Chul Jun, Sang Min Chae, Hyo Jung Kim, Kwang Jin Lee, Seokhyun Yoon, Eunyoung Choi, Fabrice Mathevet, Igor Ozerov, Jean Charles Ribierre, Jeong Weon Wu, Anthony d'Aléo
Advanced Optical Materials 6:1701400 (2018)10.1002/adom.201701400
Live nanoscopic to mesoscopic topography reconstruction with an optical microscope for chemical and biological samples
Olivier Theodoly, Nicolas Garcia-Seyda, Frédéric Bedu, Xuan Luo, Sylvain Gabriele, Tam Mignot, Joanna Giermanska, Jean-Paul Chapel, Mélinda Métivier, Marie-Pierre Valignat
PLoS ONE 13:e0207881 (2018)10.1371/journal.pone.0207881
2017
Ligand Nano-cluster Arrays in a Supported Lipid Bilayer
Emmanuelle Benard, Fuwei Pi, Igor Ozerov, Anne Charrier, Kheya Sengupta
Journal of visualized experiments : JoVE 122:e55060 (2017)10.3791/55060
High Aspect Ratio Sub-Micrometer Channels Using Wet Etching: Application to the Dynamics of Red Blood Cell Transiting through Biomimetic Splenic Slits
Priya Gambhire, Scott Atwell, Cécile Iss, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Catherine Badens, Emmanuèle Helfer, Annie Viallat, Anne Charrier
Small 13:1700967 (2017)10.1002/smll.201700967
2016
Enhancement and Inhibition of Spontaneous Photon Emission by Resonant Silicon Nanoantennas
Dorian F Bouchet, Mathieu F Mivelle, Julien Proust, Bruno Gallas, Igor Ozerov, Maria F. Garcia-Parajo, Angelo Gulinatti, Ivan Rech, Yannick F de Wilde, Nicolas F Bonod, Valentina F Krachmalnicoff, Sébastien F Bidault
Physical Review Applied 6:064016 (2016)10.1103/PhysRevApplied.6.064016
All-Dielectric Colored Metasurfaces with Silicon Mie Resonators
Julien Proust, Frédéric Bedu, Bruno Gallas, Igor Ozerov, Nicolas Bonod
ACS Nano 10:7761-7767 (2016)10.1021/acsnano.6b03207
Optimized 2D array of thin silicon pillars for efficient antireflective coatings in the visible spectrum
Julien Proust, Anne-Laure Fehrembach, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Nicolas Bonod
Scientific Reports 6:24947 (2016)10.1038/srep24947
All-Dielectric Silicon Nanogap Antennas To Enhance the Fluorescence of Single Molecules
Raju Regmi, Johann Berthelot, Pamina M. Winkler, Mathieu Mivelle, Julien Proust, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Thomas Begou, Julien Lumeau, Hervé Rigneault, María F. García-Parajó, Sébastien Bidault, Jérôme Wenger, Nicolas Bonod
Nano Letters 16:5143-5151 (2016)10.1021/acs.nanolett.6b02076
La salle est dotée de divers procédés technologiques et d'équipements adaptés aux projets scientifiques menés tant au sein du CINaM que dans les différents laboratoires de la région.
- Dépôt, lithographie et gravure assistés par faisceau de particules chargées.
- Lithographie optique et électronique
- Dépôt de métaux par évaporation
- Dépôt de SiO2 et Si3N4 ainsi que des métaux (2ème bâti) par pulvérisation
- Gravure de Si, SiO2 et Si3N4 par plasma (RIE fluorée)
- Gravure de métaux (Co, Fe, Ni, Ti, Al par plasma – ICP)
- Gravure chimique
-
Métrologie
- Microscope optique
- Ellipsomètre
- Profilomètre mécanique
- Mesures électriques
- Microsoudure
Ce parc d'équipements sera progressivement enrichi en fonction des besoins identifiés au sein de la communauté. Par exemple, un nouvel aligneur de masques pour la lithographie optique a été acquis en février 2019. Un système de lithographie sans masque a été acquis en juillet 2022.
La plate-forme PLANETE est accessible à la communauté régionale de recherche ainsi qu'aux entreprises innovantes qui entreprennent des projets de recherche et développement. Les locaux de la salle blanche ainsi que l'ensemble des équipements sont mis à leur disposition, avec une assistance technique du personnel de la plate-forme disponible en fonction de leurs besoins.
Les utilisateurs de la plateforme sont accueillis par une équipe technique (Igor OZEROV, Frédéric BEDU, Emmanuel ANDRE et Romain JEANNETTE).
Tous les utilisateurs s'engagent à respecter la charte d'utilisation de Planète.
Consultez la charte d'utilisation de Planète
Le tarif horaire d'utilisation des équipements de la salle blanche est de 64,887 €HT/heure pour le partenaires académiques (universitaires, unités CNRS et autres EPST).
Pour les industriels, les tarifs horaires d'utilisation des équipement de la salle blanche sont :
- 118 €HT/heure (en autonomie, sans assistance)
- 229 €HT/heure (avec assistance par équipe technique).
Consultez la grille de tarification
La direction du CINaM ainsi que l'ensemble du personnel de la plateforme technologique PLANETE se sont engagés dans une démarche qualité visant à renforcer la fiabilité des équipements et assurer la pérennité des procédés technologiques disponibles au sein de la plateforme.
Consultez la politique qualité de Planète
La plateforme Planète est membre du réseau « Plateformes Technologiques d’Aix-Marseille » labellisé par les tutelles Aix−Marseille Université, le CNRS et l’INSERM.
Consultez la charte des plateformes technologiques d’Aix-Marseille
Depuis 2009, la plate-forme Planète constitue l'une des trois composantes de la centrale technologique régionale de proximité CT-PACA, labellisée par le Ministère de l'Enseignement supérieur, de la Recherche et de l'Innovation. Les deux autres composantes de cette centrale sont CRHEATec, située sur le site de Sophia Antipolis et dépendante du CRHEA, ainsi que NanoTecMat, localisée sur le site de Marseille Saint Jérôme et dépendante de l'IM2NP.
À l'échelle nationale, dans le cadre de RENATECH+, un rapprochement s'est opéré entre les centrales technologiques de proximité et celles du premier cercle. En ce qui concerne Planète, le rapprochement a été établi avec les centrales NanoLyon (INSA et École Centrale de Lyon) et la plate-forme technologique amont (PTA) à Grenoble.
En partenariat avec la plateforme NanoTecMat de l'IM2NP, Planète figure parmi les lauréats de l'action structurante "Potentialisation du développement des plateformes technologiques Aix-Marseille", financée par A*Midex en 2019. Ce projet a initié une démarche qualité au sein des deux plateformes et a bénéficié de l'accompagnement et du soutien de la Direction de l'Amélioration Continue (DAC) d'AMU.
Consultez la politique qualité de Planète