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Plateforme de nano et micro-fabrication 'PLANETE'
Pour répondre aux besoins en nanolithographie, nanostructuration et en connectique des nano-objets, le Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille (CINaM), un laboratoire très actif en nanosciences, a réuni plusieurs appareillages dans une plate-forme technologique gérée par une équipe d’ingénieurs assurant la veille technologique.
La plate-forme PLANETE a été créée en 2006 dans une salle blanche de 250 m². Un nouveau bâtiment construit avec une forte implication du CNRS et de l’Université Aix-Marseille avec un soutien conséquent des collectivités (ville de Marseille, Conseil Général des Bouches-du-Rhône, Conseil de la Région Sud Provence-Alpes-Côte d’Azur).
Depuis 2009, la plate-forme PLANETE est une composante de la centrale technologique régionale de proximité CT-PACA labélisée par le Ministère de lʼEnseignement supérieur, de la Recherche et de lʼInnovation.
La plate-forme PLANETE est ouverte à la communauté régionale de recherche ainsi qu’aux entreprises innovantes, réalisant des projets de recherche et de développement. Les locaux de la salle blanche et l’ensemble des équipements est mis à leur disposition avec ou sans assistance technique par le personnel de la Plate-forme selon les besoins.
Parmi les utilisateurs récurrents se trouvent des équipes du CINaM et d’autres laboratoires marseillais (par exemple, LAI, IM2NP, IBDM, CIML, LP3, IUSTI, PIIM, Institut FRESNEL). Le personnel de la plate-forme participe également aux collaborations scientifiques nationales (ESPCI, UPMC, UTT) et internationales (Espagne, Allemagne, Lettonie, Corée du Sud).
2019
Growth and orientation relationships of Ni and Cu films annealed on slightly miscut (1-102) r-sapphire substrates
Dominique Chatain, Blandine Courtois, Igor Ozerov, Nathalie Bozzolo, Madeleine Kelly, Gregory Rohrer, Paul Wynblatt
Journal of Crystal Growth 508:24-33 (2019)10.1016/j.jcrysgro.2018.11.024
Enhanced Four-Wave Mixing in Doubly Resonant Si Nanoresonators
Rémi Colom, Lei Xu, Loris Marini, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Thomas Begou, Julien Lumeau, Andrey Miroshnichenko, Dragomir Neshev, Boris Kuhlmey, Stefano Palomba, Nicolas Bonod
ACS photonics 6:1295-1301 (2019)10.1021/acsphotonics.9b00442
2018
Ultra-narrow surface lattice resonances in plasmonic metamaterial arrays for biosensing applications
Artem Danilov, Gleb Tselikov, Fan Wu, Vasyl Kravets, Igor Ozerov, F. Bedu, Alexander N. Grigorenko, Andrei V. Kabashin
Biosensors and Bioelectronics 104:102-112 (2018)10.1016/j.bios.2017.12.001
Water adsorption by a sensitive calibrated gold plasmonic nanosensor
Benjamin Demirdjian, Frédéric Bedu, Alain Ranguis, Igor Ozerov, Claude Henry
Langmuir 34:5381-5385 (2018)10.1021/acs.langmuir.8b00040
Strong Nonlinear Optical Response in the Visible Spectral Range with Epsilon-Near-Zero Organic Thin Films
Yeon Ui Lee, Eleonora Garoni, Hanayo Kita, Kenji Kamada, Byung Hoon Woo, Young Chul Jun, Sang Min Chae, Hyo Jung Kim, Kwang Jin Lee, Seokhyun Yoon, Eunyoung Choi, Fabrice Mathevet, Igor Ozerov, Jean Charles Ribierre, Jeong Weon Wu, Anthony d'Aléo
Advanced Optical Materials 6:1701400 (2018)10.1002/adom.201701400
Live nanoscopic to mesoscopic topography reconstruction with an optical microscope for chemical and biological samples
Olivier Theodoly, Nicolas Garcia-Seyda, Frédéric Bedu, Xuan Luo, Sylvain Gabriele, Tam Mignot, Joanna Giermanska, Jean-Paul Chapel, Mélinda Métivier, Marie-Pierre Valignat
PLoS ONE 13:e0207881 (2018)10.1371/journal.pone.0207881
2017
Ligand Nano-cluster Arrays in a Supported Lipid Bilayer
Emmanuelle Benard, Fuwei Pi, Igor Ozerov, Anne Charrier, Kheya Sengupta
Journal of visualized experiments : JoVE 122:e55060 (2017)10.3791/55060
High Aspect Ratio Sub-Micrometer Channels Using Wet Etching: Application to the Dynamics of Red Blood Cell Transiting through Biomimetic Splenic Slits
Priya Gambhire, Scott Atwell, Cécile Iss, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Catherine Badens, Emmanuèle Helfer, Annie Viallat, Anne Charrier
Small 13:1700967 (2017)10.1002/smll.201700967
2016
Enhancement and Inhibition of Spontaneous Photon Emission by Resonant Silicon Nanoantennas
Dorian Bouchet, Mathieu Mivelle, Julien Proust, Bruno Gallas, Igor Ozerov, Maria F. Garcia-Parajo, Angelo Gulinatti, Ivan Rech, Yannick de Wilde, Nicolas Bonod, Valentina Krachmalnicoff, Sébastien Bidault
Physical Review Applied 6:064016 (2016)10.1103/PhysRevApplied.6.064016
Optimized 2D array of thin silicon pillars for efficient antireflective coatings in the visible spectrum
Julien Proust, Anne-Laure Fehrembach, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Nicolas Bonod
Scientific Reports 6:24947 (2016)10.1038/srep24947
All-Dielectric Colored Metasurfaces with Silicon Mie Resonators
Julien Proust, Frédéric Bedu, Bruno Gallas, Igor Ozerov, Nicolas Bonod
ACS Nano 10:7761-7767 (2016)10.1021/acsnano.6b03207
All-Dielectric Silicon Nanogap Antennas To Enhance the Fluorescence of Single Molecules
Raju Regmi, Johann Berthelot, Pamina M. Winkler, Mathieu Mivelle, Julien Proust, Frédéric Bedu, Igor Ozerov, Thomas Begou, Julien Lumeau, Hervé Rigneault, María F. García-Parajó, Sébastien Bidault, Jérôme Wenger, Nicolas Bonod
Nano Letters 16:5143-5151 (2016)10.1021/acs.nanolett.6b02076
La salle est dotée de plusieurs procédés technologiques et équipements adaptés aux projets scientifiques menés au sein du CINaM ainsi que dans les différents laboratoires de la région. Le CINaM, laboratoire déjà très actif en nanosciences, met à la disposition de la communauté régionale de recherche ainsi qu’aux entreprises innovantes, réalisant des projets de recherche et de développement, plusieurs appareillages acquis auparavant et déjà fonctionnels au sein de la plate-forme :
- Dépôt, lithographie et gravure assistés par faisceau de particules chargées.
- Lithographie optique et électronique
- Dépôt de métaux par évaporation
- Dépôt de SiO2 et Si3N4 ainsi que des métaux (2ème bâti) par pulvérisation ;
- Gravure de Si, SiO2 et Si3N4 par plasma (R.I.E. fluorée)
- Gravure de métaux (Co, Fe, Ni, Ti, Al par plasma – I.C.P.)
- Gravure chimique
-
Métrologie
- Microscopie optique et profilomètrie
- Mesures électriques
- Microsoudure
Ce parc d’équipements sera complété au fur et à mesure en fonction des besoins constatés dans la communauté : par exemple, un nouvel aligneur de masques pour la lithographie optique a été acquis en février 2019.
La plateforme Planète appartient à un réseau « Plateformes Technologiques du Site d’Aix-Marseille » labellisées par les tutelles impliquées, Aix−Marseille Université, le CNRS et l’INSERM.
Depuis 2009, la plate-forme Planète est une de trois composantes de la centrale technologique régionale de proximité CT-PACA labélisée par le Ministère de lʼEnseignement supérieur, de la Recherche et de lʼInnovation. Les deux autres composantes sont : CRHEATec sur le site de Sophia Antipolis dépendant du CRHEA, et NanoTecMat sur le site de Marseille Saint Jérôme dépendant de l’IM2NP.
Au niveau national, le rapprochement des centrales technologiques de proximité avec les centrales du premier cercle se fait dans le cadre de RENATECH+. Pour Planète, le rapprochement se fait avec les centrales NanoLyon (INSA et École Centrale de Lyon) et la plate-forme technologique amont (PTA) à Grenoble.